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ES373-ES403 激光化学开封机

2022/8/4 3:20:23发布75次查看
简单介绍: 激光化学开封机dry etching system for failure analysis
激光化学开封机 产品详情
详情介绍:
激光化学开封机dryetchingsystemforfailureanalysis
激光化学开封机nscic开见证pl201配备光纤激光器,与传统式固体激光器比照,激光/化学开封机它具有更低的直接成本和更长的使用期。
从钝化到层间膜
气体流量、真空条件、射频匹配由系统自动控制。该系统操作简单,只需选择配方并按下启动按钮即可启动刻蚀。
射频发生器、真空控制系统和温度控制单元已经升级,以提高蚀刻稳定性和可重复性。
es403可以刻蚀高达8英寸的晶圆片,以及使用可选适配器的小型设备,如ic包。es403提供稳定和**的蚀刻,其高性能真空系统由涡轮分子泵、质量流量控制器和蝶阀控制。
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